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六维力传感器有很多种名称,如六轴力传感器、六分量天平、六轴力/力矩传感器、六向力传感器等,实际上就是一种可以同时检测 3 个力分量和 3 个力矩分量的力传感器。
根据 X , Y , Z 方向的力分量和力矩分量可以得到合力和合力矩。传感器的种类按敏感兀件可以分为:电阻应变式、压电式、光学式、电容式、电感式等几类。六维力传感器按测力原理可分为电阻式应变式,电容式,电感式,压电式和光电式等。
就以上几种类型的传感器而言,电阻应变式六维力传感器的应用得广泛而且目前技术成熟的一种。其基本工作原理是外力作用下,弹性体结构形变,贴在弹性体!几的应变片发生应变引起电阻仇的变化,再经电路将阻仇的变化转化为电压或电流的变化表现。电容式则是将电容式力敏传感器的核心部分是对压力敏感的电容器。力敏电容器的电容量是由电面积和两个电间的距离决定的,当硅膜片两边存在压力差时,硅膜片产生形变,板间的间距发生变化,从而引起电容从的变化,电容变化量与压力差有关。