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哪些因素会造成STS压力传感器精度的误差呢?
点击次数:42 发布时间:2020-08-25
  最近经常有人问我们STS压力传感器的综合精度和非线性误差之间有什么关系,综合精度包含哪些方面,哪些因素会造成STS压力传感器精度的误差呢?今天我来给大家说说这其中的关系,其实造成传感器误差的因素有很多,下面我们说四个无法避免的误差,这是传感器的初始误差。
  1、非线性误差:这是一个对STS压力传感器初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线称重传感器。
  2、偏移量误差:由于STS压力传感器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。
  3、灵敏度误差:产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。
  4、滞后误差:在大多数情形中,STS压力传感器的滞后误差完全可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。
 

  STS压力传感器的这个四个误差是无法避免的,我们只能选择高精度的生产设备,利用高新技术来降低这些误差,还可以在出厂的时候进行的误差校准,尽最大的可能来降低误差以满足客户的需要。
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