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弗莱贝格MDPinline ingot在线硅锭成像设备
点击次数:113 发布时间:2020-09-08

弗莱贝格MDPinline ingot在线硅锭成像设备

对高通量要求的PV工厂中多晶和类单晶锭进行电学参数测试表征,在1mm分辨率下的总测量时间少于一分钟。

产品特点
检测符合半导体标准SEMI PV9-1110
对半导体材料电学参数进行非接触和非破坏性测试
对少子寿命参数可做面扫描测试
对不可见缺陷的可视化测试具有很高灵敏度
对铁浓度分布做面扫描自动设置硅锭切割标准
对硅锭少子寿命的稳态测试,可有效改善硅锭的性能
完全自动化的集成设计低成本测试
对光伏级别的硅錠进行2D成像扫描测试,
对一个硅锭,可在一分钟内完成分辨率低于1mm的成像测试

产品优势

MDPinline ingot对有高通量要求PV工厂里的多晶硅锭电学参数,具备在线测试速度:在1分钟内可完成分辨率大于1mm的成像扫描测试,同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的线扫描测试。客户制定的硅锭切割标准,可通过数据中心,对下一代PV工厂的材料制备进行全自动监控,完成对材料生长质量控制,坩埚状况监控,以及各种失效分析。通过特殊的“underneath thesurface”测试技术,可有效减少由表面复合引起的数据失真情况出现。

弗莱贝格MDPinline ingot在线硅锭成像设备

MDPinline ingot系统是全球范围内的测量工具,可用于对多晶硅和类单晶硅锭进
行电学表征。专为高通量工厂中的单个晶锭测试而开发,每个晶锭都可在1分钟内完成所有面的电学
参数表征测试参数包括1mm分辨率的少子寿命面扫描分布,电导类型分布图,以及电阻率线扫描分布图。

该系统包括数据处理,传输和存储,以及评估系统。提供全自动的硅锭切割位置,用于改善产能,材料质量监控,坩埚选择和工艺优化等。

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